環(huán)保型真空機(jī)組由真空泵、旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵、油霧過濾器、冷凝器、干燥器、壓縮機(jī)、容積式吸附塔等部分組成。其工作原理主要有以下幾個環(huán)節(jié)：

（一）真空泵吸取被處理物質(zhì)廢氣

真空泵可將被處理物質(zhì)廢氣抽取到系統(tǒng)中，提高真空度，減少被處理物質(zhì)中的雜質(zhì)。

（二）旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵作為高效真空泵使用

旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵是一種體積小、重量輕、性能高、可靠性好的機(jī)型。它可作為真空系統(tǒng)的高效真空泵使用。

（三）油霧過濾器將機(jī)組排氣口的油霧濾去

油分子泵工作時排出的氣體中往往會帶有大量的油分子，因此需要使用油霧過濾器，將油霧濾去，減少對環(huán)境的污染。

（四）冷凝器進(jìn)行冷卻，凝結(jié)出高沸點(diǎn)物質(zhì)

在油霧過濾器中濾除油霧后，氣體進(jìn)入冷凝器，通過冷卻來凝結(jié)出高沸點(diǎn)物質(zhì)和一些水分，減少對環(huán)境的影響。